【摘 要】
：
采用反应磁控溅射法在不同的氮分压下制备了一系列NbN薄膜.用XRD和TEM表征了薄膜的相组成和微观结构,力学探针测量了薄膜的硬度和弹性模量,AFM观察了薄膜的表面形貌并测量了
论文部分内容阅读
采用反应磁控溅射法在不同的氮分压下制备了一系列NbN薄膜.用XRD和TEM表征了薄膜的相组成和微观结构,力学探针测量了薄膜的硬度和弹性模量,AFM观察了薄膜的表面形貌并测量了压痕尺寸以校验硬度值的准确性.研究了氮分压对薄膜相组成、微结构和力学性能的影响.结果表明,氮分压对薄膜的沉积速率、相组成、硬度和弹性模量均有明显的影响:低氮分压下,薄膜的沉积速率较高,制备的薄膜样品为六方β-Nb2N和立方δ-NbN两相结构;随氮分压的升高,薄膜形成δ-NbN单相组织,相应地,薄膜获得最高的硬度(36.6 GPa)和弹
其他文献
研究了二维海洋波导中声波与散射体相互作用的问题．基于伽辽金变分原理和DtN映射方法，发展了这类声散射问题的一种有限元数值求解方法，提出了有效的数值实现手段．考察了海洋波导
对均匀B样条曲面的多分辨率小波表示进行了讨论,给出了双正交的均匀三次B样条小波两尺度关系的构造过程.针对感兴趣区域和背景区域,提出了采用不同的分辨率来表示均匀B样条曲
利用神经网络和启发式分派规则设计了一种Job-shop的实时调度算法,该算法首先在离线时用遗传算法训练神经网络得到调度的启发规则,在加工开始时根据一些动态特性对要执行的工
从作业顺序图出发,定义了作业的序关系.以此为基础,分析了工位数固定时作业序列与最小节拍的对应关系,并针对第二类装配线平衡问题,提出一种基于可行作业序列的遗传算法.该算
对色彩结构码(CSC)算法做了改进,将图像边界信息结合进CSC算法的连接过程,并以色度、饱和度、亮度(HSV)色彩模型为基础确定色彩差别.通过设定颜色差别和边界梯度的容忍阈值控
在分析电力系统电压质量扰动检测存在的问题和现有的检测方法后,提出了应用自适应线性神经元(ADALINE)进行电能质量扰动定位和频率跟踪的方法,并给出了该方法用于各种电压质
计算了硅酸镓镧、钽酸镓镧和铌酸镓镧的不同切向和传播方向的声表面波(SAW)传播特性,并对其和石英晶体上相应切向和传播方向的SAW传播特性做了对比分析.计算结果表明,这3种材