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微波电源是等离子体设备的核心,它的工况直接决定了等离子体的各项参数。针对微波电源设计实现了基于C8051F500的嵌入式控制器,提供了远程控制与手操器控制两种模式,用户可以借助上位机对微波电源进行实时监控。考虑到拓展应用,提供了CAN总线接口,为将来接入其他低温等离子设备系统提供了便利。