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以原子力显微镜(AFM)作为加工工具,基于金刚石针尖对单晶硅进行了纳米加工实验,对纳米加工区域特性、材料在不同垂直载荷下的去除机理及切屑形成特征,进行了系统的研究和分析,提出了一种在纳米尺度下研究加工机理的新方法.在此基础上,应用有限元方法(FEM)对AFM纳米加工中存在于金刚石针尖和被加工材料之间的作用机制进行了计算仿真.