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设计的磁溅式三靶真空镀膜机控制系统,采用三菱PLC和EasyView触摸屏,具有参数设置、工艺流程控制、故障报警、保护等功能.文中介绍了PLC控制系统软硬件结构,及抗干扰措施.
用PLC实现的磁溅式三靶真空镀膜机控制系统
【摘 要】
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设计的磁溅式三靶真空镀膜机控制系统,采用三菱PLC和EasyView触摸屏,具有参数设置、工艺流程控制、故障报警、保护等功能.文中介绍了PLC控制系统软硬件结构,及抗干扰措施.
【机 构】
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南华大学电气工程学院
【出 处】
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电气自动化
【发表日期】
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2004年2期
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