【摘 要】
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近年来,各种工业生产规模的玻璃基片大平面磁控溅射生产线发展迅速,令人关注。本文针对这一领域,就主要膜系开发、设备结构、工艺、存在的问题及最新发展做了简单的归纳和介
【机 构】
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合肥工业大学,合肥工业大学,合肥工业大学 安徽合肥230009,安徽合肥230009,安徽合肥230009
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近年来,各种工业生产规模的玻璃基片大平面磁控溅射生产线发展迅速,令人关注。本文针对这一领域,就主要膜系开发、设备结构、工艺、存在的问题及最新发展做了简单的归纳和介绍。
In recent years, a large number of industrial production scale glass substrate magnetron sputtering production line is rapidly developing, concern. In this paper, we briefly summarize and introduce the main membrane system development, equipment structure, technology, existing problems and the latest developments.
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