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金刚石薄膜由于其极高的硬度和化学稳定性,并且透红外光特性和电阻率高的特性,广泛应用于机械、电子、光学、医学等领域.对采用氩氢等离子体电弧(即上电极)与碳氢化物在水冷成膜台(即下电极)上淀积金刚石膜的结构设计方案作较详尽的探讨,以物元分析法设计出较合理的传动方案,解决了工艺中的难题.
大直径金刚石膜等离子淀积炉的方案设计
【摘 要】
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金刚石薄膜由于其极高的硬度和化学稳定性,并且透红外光特性和电阻率高的特性,广泛应用于机械、电子、光学、医学等领域.对采用氩氢等离子体电弧(即上电极)与碳氢化物在水冷
【机 构】
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广州市科通机电有限公司,广州有色金属研究院
【出 处】
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中山大学学报论丛
【发表日期】
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2002年5期
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