MEMS技木现状及应用

来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xujinjinjin

【摘要】

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微机电系统(MEMS)技术是一门新兴的技术,它将微电子技术和精密机械加工技术融合在一起,实现了微电子与机械的融为一体.近年来,对MEMS的技术发展、加工工艺及其产业化的研究也

【作者】

：

杨友文王建华

【机构】

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合肥工业大学科研处

【出处】

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微纳电子技术

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

微机电系统发展磁微执行器

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微机电系统(MEMS)技术是一门新兴的技术,它将微电子技术和精密机械加工技术融合在一起,实现了微电子与机械的融为一体.近年来,对MEMS的技术发展、加工工艺及其产业化的研究也被越来越多的人所重视.文章介绍了MEMS的特点与技术发展现状、MEMS器件的类型及其功能,并以多层弯曲磁芯结构微执行器为例介绍了磁驱动微执行器工作原理与制作工艺过程.

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