【摘 要】
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设计了一种狭缝柔性结构的光学元件调节机构,使光学元件在具备较高调节精度的同时,保持较高的导向精度。采用弹性力学应力函数法分析了狭缝柔性结构的刚度,以径向刚度与轴向
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室超精密光学工程研究中心,中国科学院大学
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设计了一种狭缝柔性结构的光学元件调节机构,使光学元件在具备较高调节精度的同时,保持较高的导向精度。采用弹性力学应力函数法分析了狭缝柔性结构的刚度,以径向刚度与轴向刚度的比值为目标函数,对狭缝柔性结构尺寸参数进行了优化,在不超过柔性结构材料屈服应力等约束条件下,刚度比最优值达到1 573.6,较大的刚度比值可以减小调节机构的耦合位移,从而提高机构的导向精度。该结构加工装配方便,可实现三自由度（θx-θy-Z）调节。对优化后的柔性结构进行仿真分析,结果表明：径向刚度与轴向刚度比值的仿真值为1 660.4,解析
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