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本文主要叙述采用RF反应离子镀、RF反应溅射、MOCVD和激光辅助蒸发等方法制备高度取向的ZnO薄膜。文章还介绍了ZnO薄膜在热电红外传感器、集成化学反应传感器、紫外光探测器,集成加速度计传感器和湿度传感器等方面的应用。
ZnO薄膜的制备及其在传感器方面的应用
【摘 要】
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本文主要叙述采用RF反应离子镀、RF反应溅射、MOCVD和激光辅助蒸发等方法制备高度取向的ZnO薄膜。文章还介绍了ZnO薄膜在热电红外传感器、集成化学反应传感器、紫外光探测器,
【机 构】
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四川压电与声光技术研究所
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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1989年1期
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