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对折叠波导慢波结构进行了研究，对其色散特性和耦合阻抗进行分析，并设计了输能窗和电子光学系统，在此基础上进行了粒子模拟的束波互作用计算。通过设计，对0.14 THz 行波管进行了制管工艺的研究，包括慢波结构的加工和焊接等，完成了热测实验。在电压为16.3 kV，电子流通率为74%条件下，测试得到最大饱和输出功率3.1 W，输出频率140.08 GHz，增益27 dB，最大功率半带宽2.82 GHz。