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在对激光器采用电压调制的情况下进行了Cs原子D2线中6S1n(F=4)→6P3/2(F'=5)电子跃迁反射光谱的二次、四次和六次谐波探测,并通过数值分析得到了低压气体在谐波探测下调制展宽与调制系数的关系,实验结果与理论分析吻合较好.结果表明,选取合适的调制度及高次谐波有利于提高信号的分辨率.