【摘 要】
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大镜面反射镜在加工过程中需要处理一些低阶的Zernike多项式面形中非旋转对称的面形残余量。这些面型残余量大大增加了加工的难度。提出利用主动支撑技术指导镜面面形的加工
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所; 中国科学院大学;
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大镜面反射镜在加工过程中需要处理一些低阶的Zernike多项式面形中非旋转对称的面形残余量。这些面型残余量大大增加了加工的难度。提出利用主动支撑技术指导镜面面形的加工过程,降低加工难度。主要研究加工过程中应用主动支撑技术补偿某些低阶Zernike系数面形残差的技术方法。在轴向支撑系统中采用全浮动支撑方式对镜面面形进行控制,采用力作为控制变量的控制模式使镜面产生低阶Zernike多项式面形变化,进一步"修正"处理某些不满足合力为零和合力矩平衡的解,成功实现主动支撑补偿低阶Zernike系数项面形。最后通过Ansys-Workbench软件仿真验证该计算方法的可行性。
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