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综述了迄今为止各种分析低温等离子体放电物理过程的数值模型，以帮助我们从数值模型出发理解许多至今仍无法解释的现象，同时也为低温等离子体在等离子体处理技术、气体激光等工业应用以及在微电子、材料制备、环保、航空航天、军事等领域的应用提供了研究方法．
低温等离子体放电的数值模型
【摘 要】
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综述了迄今为止各种分析低温等离子体放电物理过程的数值模型，以帮助我们从数值模型出发理解许多至今仍无法解释的现象，同时也为低温等离子体在等离子体处理技术、气体激光等工
【机 构】
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电子科技大学物理电子学院,成都大学电子信息工程系
【出 处】
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成都大学学报：自然科学版
【发表日期】
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2006年3期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（编号：60571078）,国家重点实验室基金资助项目
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