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某型号接触式光刻机汞灯电源在通道1恒光强模式时,电源功率大幅波动,光的亮度忽明忽暗。使用交换法、恢复参数法找到故障原因,采用合适方法解决故障。
接触式光刻机汞灯电源功率大幅波动故障处理
【摘 要】
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某型号接触式光刻机汞灯电源在通道1恒光强模式时,电源功率大幅波动,光的亮度忽明忽暗。使用交换法、恢复参数法找到故障原因,采用合适方法解决故障。
【机 构】
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中国电子科技集团公司第十三研究所
【出 处】
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设备管理与维修
【发表日期】
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2020年13期
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