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随着纳米结构材料的广泛应用，新型微纳尺度表征技术成为纳米科学技术发展的重要途径。本文基于局域电子信息全面性的思想，从俄歇电子能谱的原理出发，理论推导出俄歇价电子能谱的简明表述方式，确定俄歇价电子能谱与微观电子结构信息的内在联系和物理意义，建立了俄歇电子能谱探测微区一系列宏观参量的新技术。其中应力测量技术的空间分辨率可优于20nm，为微纳尺度力学测量的发展提供了重要的方法；非接触性的局域电学性质测量技术．超越了传统电学测量方法的思想框架，实现了无外场驱动的电荷密度分布、电场分布等本征电学性质表征、以及半导体