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全国五金机电市场群星闪亮喜登场
【出 处】
:
五金科技
【发表日期】
:
2006年1期
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本文综述了亚微米、深亚微米集成电路工艺的主要特点、关键工艺及其实现方法,涉及高低压混载CMOS、DMOS、E^2PROM工艺。