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设计了两种形式的被动截止薄膜阀-整体开启阀与悬臂梁阀，对两种形式阀的过流特性进行了理论分析，并应用两种形式的阀体制成了双腔串联压电泵的样饥。对样机的实验测试表明，整体开启阀压电泵的自吸能力和输出流量都要好于悬臂梁阀压电泵。在200v交流电压驱动下，前者的最大自吸高度和输出流量分别为430mm水柱和972ml／min，而后者为410mm水柱和480ml／min。