串联RF MEMS开关的结构仿真

来源 :光电工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：dingchuan646

【摘要】

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RF微机电系统(MEMS)开关'断'状态时的隔离度依赖于其几何结构参数,因而需对其尺寸进行优化设计以获得高的隔离度.利用有限元软件HFSS对串联RF MEMS开关模型进行微波

【作者】

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谌贵辉张万里彭斌蒋洪川赵泽宇候德胜

【机构】

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电子科技大学,电子科技大学,中国科学院光电技术研究所

【出处】

：

光电工程

【发表日期】

：

2005年9期

【关键词】

：

微机电系统微波开关结构仿真 MEMS Microwave switch Simulation

【基金项目】

：

国家重点实验室基金

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RF微机电系统(MEMS)开关'断'状态时的隔离度依赖于其几何结构参数,因而需对其尺寸进行优化设计以获得高的隔离度.利用有限元软件HFSS对串联RF MEMS开关模型进行微波特性分析,系统研究了'断'状态下,MEMS开关的隔离度、回波损耗与其信号线宽度(w)、信号线间距(d)、气隙高度(g)、接触层面积(A)等结构参数的关系.结果表明,较小的w、较大的d、较高的g和较小的A可获得具有较小回波损耗和较大隔离度的MEMS开关.其中信号线间距对微波性能影响最大,是RF MEMS开

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