放电等离子烧结技术制备复合梯度靶材的研究

来源 :功能材料与器件学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：gqy2004

【摘要】

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采用放电等离子烧结技术制备了TbFeCo/Ti和Bi2O3/Cu复合梯度靶材,利用扫描电子显微镜和能谱分析仪对材料的微观组织形貌及成分进行了分析.结果表明,合成的复合梯度靶材具有宏

【作者】

：

岳明刘卫强张东涛刘燕琴张久兴

【机构】

：

北京工业大学新型功能材料教育部重点实验室

【出处】

：

功能材料与器件学报

【发表日期】

：

2004年3期

【关键词】

：

复合梯度靶材放电等离子烧结 TbFeCo/Ti Bi2O3/Cu 扫描电子显微镜能谱分析仪 spark plasma sinteringTbFeCo/TiB

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采用放电等离子烧结技术制备了TbFeCo/Ti和Bi2O3/Cu复合梯度靶材,利用扫描电子显微镜和能谱分析仪对材料的微观组织形貌及成分进行了分析.结果表明,合成的复合梯度靶材具有宏观组织不均匀性和微观组织连续性的特征,显微组织中不存在微裂纹.与单一靶材相比,TbFeCo/Ti复合梯度靶材解决了在制造和使用过程中容易碎裂的问题,Bi2O3/Cu复合梯度靶材解决了在溅射过程中的散热问题.

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