超精加工机床静压空气轴承的主轴部件

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超精加工机床静压空气轴承的主轴部件哈尔滨工业大学吴起,王扬,袁哲俊随着航天技术、微电子、原子能、信息等高科技的发展.对于产品的加工精度要求越来越高.加工精度逐步由亚微米向毫微米级直至纳米级趋近.因而对与此相关的加工设备提出了很高的要求。而作为加工设备...
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