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利用外磁场及其运动控制微机电系统中的磁流体的运动，成功地设计了磁流体微泵，试验表明：磁流体微泵的输出压力最高达到1180Pa，输出流量最大可达50μ l／min，磁场转速和输出压力、输出流量的在低转速时几乎线性关系，但超过一定的转速，输出流量和压力将迅速下降。为微机电系统提供可靠的驱动元件。
用于微机电系统的磁流体微泵的研究
【摘 要】
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利用外磁场及其运动控制微机电系统中的磁流体的运动，成功地设计了磁流体微泵，试验表明：磁流体微泵的输出压力最高达到1180Pa，输出流量最大可达50μ l／min，磁场转速和输出压力、输
【机 构】
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浙江科技学院机械工程系
【出 处】
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功能材料与器件学报
【发表日期】
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2006年3期
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