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将有限厚度周期结构的电磁散射问题分解为外部问题和内部问题，采用混合位积分方程（MPIE），用Ewald变换对周期格林函数进行加速，提高计算效率；在内部问题的分析中，为简化积分方程，通过零厚度近似，并引入厚度修正项，完成了从有限厚度至零厚度的平滑过渡。与采用传统MOM—IE方法的结果对比，新方法的结果吻合良好，说明了此方法在有限厚度周期结构电磁散射分析中的有效性．