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微机械加速度计及电容检测电路的设计

来源 :中国惯性技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：JSLDYY

【摘 要】

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本文讨论一种扭摆式微机械加速度计.介绍其敏感元件的结构,振动模态和数学模型,说明了集成电容检测电路的原理,并对该电路进行了具体设计,利用PSPICE软件进行仿真分析,结果证

【作 者】

：

赵长德 陈旻 徐力 

【机 构】

：

清华大学,北京,100084

【出 处】

：

中国惯性技术学报

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

微机械 加速度计 电容传感器 集成电容检测电路 

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本文讨论一种扭摆式微机械加速度计.介绍其敏感元件的结构,振动模态和数学模型,说明了集成电容检测电路的原理,并对该电路进行了具体设计,利用PSPICE软件进行仿真分析,结果证明完全达到要求,并给出了同步解调器电路的形式,为进行版图设计打下了基础.

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