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本文突破传统阻容分压、电阻分压电压传感器的设计思路,基于MEMS加工技术,设计了一种十字梁结构膜片,建立了数学模型,利用有限元分析法对其结构进行仿真研究,得到十字梁硅微结构的电压传感膜片理想参数,通过对十字梁膜片进行固有频率分析,计算出远大于工频,表明设计的十字梁膜片能对交、直流电压进行测量。
一种小型电压传感膜片的设计与仿真
【摘 要】
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本文突破传统阻容分压、电阻分压电压传感器的设计思路,基于MEMS加工技术,设计了一种十字梁结构膜片,建立了数学模型,利用有限元分析法对其结构进行仿真研究,得到十字梁硅微结构的电压传感膜片理想参数,通过对十字梁膜片进行固有频率分析,计算出远大于工频,表明设计的十字梁膜片能对交、直流电压进行测量。
【机 构】
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衢州职业技术学院
【出 处】
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科技视界
【发表日期】
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2020年05期
【基金项目】
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衢州职业技术学院2017年度校科研重点项目(QZYZ1707)
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