论文部分内容阅读
近两年,采用改良西门子法技术建造大型多晶硅装置受到了国内投资者的热捧,但随着产生的多晶硅副产物——四氯化硅的处置却成为多晶硅产业发展一道难以迈过的“槛”,让多晶硅行业戴上了高污染的“帽子”。为此,国内外都在努力探索有效利用四氯化硅的理想途径。其中,氯氢化技术作为一条实现多晶硅产业密闭循环的有效途径,开始得到越来越多业内人士的认可。