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利用射频磁控溅射方法，在微通道板输入面上做出了性能满足使用要求的SiO2防离子反馈膜。对防离子反馈膜进行了理论分析，对所制备的SiO2防离子反馈膜进行了电子透过率测试。
射频磁控溅射制备SiO2防离子反馈膜工艺探讨
【摘 要】
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利用射频磁控溅射方法，在微通道板输入面上做出了性能满足使用要求的SiO2防离子反馈膜。对防离子反馈膜进行了理论分析，对所制备的SiO2防离子反馈膜进行了电子透过率测试。
【机 构】
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长春大学理学院
【出 处】
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长春大学学报
【发表日期】
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2009年6期
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