论文部分内容阅读
利用化学溶液沉积法在Pt/Ti/Si O2/Si(100)基底和700℃条件下分别制备了Nd和Mg(不同浓度)共掺杂的钛酸铋薄膜Bi3.15Nd0.85Ti(3-x)Mg2xO12(BNTM)(x=0.00,0.06,0.10和0.14),并进行了这一系列薄膜的包括微结构、介电、铁电和漏电流等特性的研究和对比。发现当Mg含量为x=0.10时,薄膜具有较高的剩余极化强度(2Pr=33.40μC/cm^2)和介电常数(ε=538,频率为1k Hz),其漏电流密度为10-8A/cm^2。讨论了相关的物理机制。