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一、激光加工技术概述自20世纪60年代以来激光加工的类型不断发展完善，现己形成激光加工的十几种自用工艺。由于激光加工技术与传统加工工艺相比有着许多无可比拟的优越性，所以敷光加工技术己得到了越来越广泛的应用。其独特的优点为：可局部加热，元件不易产生热损伤：非接触式加热：重复操作稳定性佳；加工灵活性好；易实现多工位装置自动化等。在微电子行业这一领域中己被成功应用。