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乙硼烷作为最简单的硼氢化合物、典型的"缺电子"化合物,主要用作P-型半导体芯片生产中的掺杂剂。简述乙硼烷的理化性质,并介绍乙硼烷产品的制备方法和纯化方法。
乙硼烷制备和纯化方法的探讨
【摘 要】
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乙硼烷作为最简单的硼氢化合物、典型的"缺电子"化合物,主要用作P-型半导体芯片生产中的掺杂剂。简述乙硼烷的理化性质,并介绍乙硼烷产品的制备方法和纯化方法。
【机 构】
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广东华特气体股份有限公司
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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2018年04期
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