重掺硼直拉硅片中流动图形缺陷的显示

来源 :材料科学与工程学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：blueskygx

【摘要】

：

本文针对重掺硼直拉单晶硅片中流动图形缺陷（FPDs）的显示进行了一系列实验，得到了一种能够腐蚀出重掺硼硅片中FPDs的Secco腐蚀液配方以及清晰显示出FPDs的最佳腐蚀时间。此外，本

【作者】

：

方敏杨德仁马向阳阙端麟

【机构】

：

浙江大学硅材料科学国家重点实验室

【出处】

：

材料科学与工程学报

【发表日期】

：

2006年2期

【关键词】

：

直拉单晶硅重掺硼 FPD Czochralski silicon heavily boron-doped FPD

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

本文针对重掺硼直拉单晶硅片中流动图形缺陷（FPDs）的显示进行了一系列实验，得到了一种能够腐蚀出重掺硼硅片中FPDs的Secco腐蚀液配方以及清晰显示出FPDs的最佳腐蚀时间。此外，本文就FPD的显示机理进行了探讨。

其他文献

艾基在柏罗依特

近些年，我几乎每年都到柏罗依特学院（Beloit College）教书，不长不短，七周，从仲夏到深秋，直到满地金红色的落叶飘零。柏罗依特是个约三万人口的小镇，位于依利诺伊州与威斯康辛州交界处。市中心异常萧条，如无人地带；教堂林立，钟声应和时更显得空旷，只有那些大型连锁店毒蘑般在郊区迅猛生长。　　偶然翻出柏罗依特诗歌节的照片，其中有我和艾基（Gernnady Aygi）的合影。诗歌节就是在他朗诵的高

期刊

市中心连锁店萧条郊区

重掺硼直拉硅片中流动图形缺陷的显示

其他学术论文