精确预计Si BJT微波功率器件峰值结温的方法

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hebeihuazi
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三维全热程热电一体地模拟了Si BJT微波功率器件,热场计算包括从芯片的有源区经芯片-粘接层-基片-粘接层-底座直到固定于70度的安装台面的整个散热过程,在处理热电正反馈时把有源区的60个基本单元(子胞)当成60个并联子胞晶体管进行建模,子胞模型包括子胞晶体管本身,基区横向扩展电阻,发射区横向扩展电阻,热电一体分析除了涉及Vbc随温度变化外,还有子胞发射极有效面积随子胞发射极电流上升而下降的效应(以下称面积效应),与对有源区各点直接进行分析相比,子胞建模不仅大大简化了计算,而且模拟结果与器件,结构版图结构
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