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SnO2薄膜的成膜机制是研究其结构的一项重要内容,本文就射频反应溅射成膜过程中影响成膜质量的因素进行了讨论,给出了薄膜形成过程的初步模型,分析了影响薄膜成长和特性的因素.
射频反应溅射制备SnO2薄膜机理研究
【摘 要】
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SnO2薄膜的成膜机制是研究其结构的一项重要内容,本文就射频反应溅射成膜过程中影响成膜质量的因素进行了讨论,给出了薄膜形成过程的初步模型,分析了影响薄膜成长和特性的因
【机 构】
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基础部
【出 处】
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北京建筑工程学院学报
【发表日期】
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2003年1期
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