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对PVD沉积Pb1-xGexTe薄膜研究发 现 Pb1-xGexTe是一种高性能的红外材料,在3~25μm光谱范围具有较好的 透光性能,室温下的折射率为4.8~5.6.薄膜的光学性质,包括透射率、色散关系以及折射率的 温度系数dn/dT,与材料中组分x、环境温度和薄膜的沉积工艺条件有密切关系 .适当地改变组分和工艺条件,可以使薄膜的折射率温度系数dn/dT从负变到零并转 为正,这对于制备高温度稳定性的红外光学薄膜器件具有重要的意义.