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先进的涂层技术——EB-PVD
先进的涂层技术——EB-PVD
来源 :航空制造技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:feit0679
【摘 要】
:
电子束物理气相沉积具有很高的沉积速率和较好的工艺可重复性,基体温度是电子束物理气相沉积工艺中的关键因素。除热障涂层外,根据沉积材料性质及工件要求的不同可以使涂层具有
【作 者】
:
武洪臣
姚振中
冯建基
刘喜华
刘方军
【机 构】
:
北京航空制造工程研究所
【出 处】
:
航空制造技术
【发表日期】
:
2005年5期
【关键词】
:
EB-PVD
涂层技术
电子束物理气相沉积
可重复性
沉积速率
沉积工艺
基体温度
热障涂层
材料性质
耐腐蚀性
保护作用
耐磨性
耐冲刷
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电子束物理气相沉积具有很高的沉积速率和较好的工艺可重复性,基体温度是电子束物理气相沉积工艺中的关键因素。除热障涂层外,根据沉积材料性质及工件要求的不同可以使涂层具有耐磨性、耐腐蚀性和耐冲刷等性能,对零件起到保护作用。
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