论文部分内容阅读
容栅千分传感器广泛应用于位移测量中,设计的容栅千分传感器,将普通容栅传感器在线路板上的刻线划分移植到了半导体硅片上,利用了半导体的工艺技术,实现刻线划分的高精度、高密度,从而达到普通线路板无法达到的精度,将容栅传感器的分辨力提高至0.001mm。
基于半导体硅片的容栅千分传感器的设计
【摘 要】
：
容栅千分传感器广泛应用于位移测量中,设计的容栅千分传感器,将普通容栅传感器在线路板上的刻线划分移植到了半导体硅片上,利用了半导体的工艺技术,实现刻线划分的高精度、高密度,从而达到普通线路板无法达到的精度,将容栅传感器的分辨力提高至0.001mm。
【机 构】
：
北京航天试验技术研究所
【出 处】
：
传感器与微系统
【发表日期】
：
2011年08期
其他文献
基于脉搏图像传感器工作原理,利用Abaqus软件建立传感器有限元模型。应用Abaqus/Exp lic it对模型进行动态分析,分析传感器薄膜上不同位置点的竖向位移,分别获取了脉搏波形;对脉搏信号进行时域分析,提取脉搏时域特征参数,为进一步研究薄膜三维动态变化奠定了基础。
点滴法在液体微流量检测与控制方面的应用普遍,液体微流量的检测一直是研究的难点。利用医用输液管储液瓶、压力传感器和仪表放大器设计一种点滴速度检测传感器,用压力传感器检测储液瓶内的压力并转换为电压输出,通过测量电压后换算为点滴速度。设计并制作了传感器硬件,并进行实验测试,获得传感器点滴速度关系表达式。
提出了一种较完善的基于非测距的无线传感网节点定位算法。算法中首先通过引入权重改进未知节点的平均跳距的计算方法;然后引入虚拟锚节点去提高网络覆盖率,接着引入共线性阈
植物油掺伪后难以检测，根据不同油品具有不同介电常数的特性，设计了通过电容值进行检测的数字式油品传感器，建立了传感器等效电路，分析了传感器结构对电容检测的影响。传感器为插
针对高压大电流的检测,研制了一种块状材料型光纤电流传感器。对传感器的光路与电路结构做出了设计,建立了传感器的数学模型,并指出了影响传感器性能的关键因素。使用传感器进行了电流检测实验,实验表明:该传感器能实现30 kV条件下30 kA连续或脉冲电流的测量,为高压大电流的检测提供了一种有效方法。
针对身份证伪造使用和冒名使用的问题,提出了一种基于指纹识别的身份证网络核查系统设计方案。采用反射式电容指纹传感器FPC1011C实现了持证人员的指纹采集,基于嵌入式ARM11处理器S3C6410完成指纹图像的预处理,最终通过网络服务器完成身份信息的核查。实验结果表明:该设计方案科学可行,能有效克服身份证传统查询系统的缺点、避免身份证伪造使用和冒名使用,该研究有广泛的应用前景。
将无线传感器网络中二维定位扩展到三维定位,并针对三维空间定位精度低的问题,分别提出了基于距离函数和指数函数的三维加权质心定位算法。仿真结果表明：基于这两种函数的加权
海洋生态环境复杂多变,深海微生物培养不完善。为提高海洋微生物检测精度,减小测量误差,需要借助自动在线测量系统。基于ATP生物发光原理,提出了一种海洋微生物量原位检测系统设计方案。该仪器以C8051F为处理器,集成了A/D转换、电磁阀驱动、步进电机驱动等模块,实现了全自动运行。阐述了系统工作原理,介绍了系统各部分组成。实验表明:本系统运行良好,测量误差小,标准10-9mol/L数量级别的ATP溶液,
针对直线式时栅传感器的动态测量,提出了直线式时栅传感器的主要动态误差源。采用直线光栅尺,光栅测量值作为直线式时栅传感器空间位置测量的标准量,直线式时栅传感器的预测测量值与之进行比较,从而得到动态预测测量的误差值。对测量的误差值进行数据的预处理:数据的截断和采样、异常数据剔除,预处理后对误差值进行频谱分析,提取出幅值和相位,以便于用软件实现谐波修正,提高直线式时栅传感器的精度。