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IC制造中的危害和预防
IC制造中的危害和预防
来源 :电子与封装 | 被引量 : 0次 | 上传用户:likuaiji
【摘 要】
:
本文论述了关于IC制造中使用的工艺气体和厂房设施、生产设备的危害及防护.
【作 者】
:
顾爱军
范钦文
【机 构】
:
中国电子集团公司第58研究所江苏无锡214035
【出 处】
:
电子与封装
【发表日期】
:
2004年3期
【关键词】
:
工艺气体
厂房设施
危害
防护
Process gas Fab equipment Hazard Safeety
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本文论述了关于IC制造中使用的工艺气体和厂房设施、生产设备的危害及防护.
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