电子束蒸发制备掺钕钇铝石榴石薄膜特性研究

来源 :激光技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：sanxin327

【摘要】

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硅基光电集成技术是当代高速信息化的重要发展方向之一。为了研究制备在硅衬底上的新型发光材料，突破Nd：YAG固体激光工作物质主要是晶体、透明陶瓷等固体形态的限制，采用电子束

【作者】

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任豪曾群庞振华周应恒梁锡辉

【机构】

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华南师范大学信息光电子科技学院,广州市光机电技术研究院

【出处】

：

激光技术

【发表日期】

：

2012年4期

【关键词】

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薄膜掺钕钇铝石榴石电子束蒸发光致发光 thin films Nd： YAG electron beam evaporation photolumi

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硅基光电集成技术是当代高速信息化的重要发展方向之一。为了研究制备在硅衬底上的新型发光材料，突破Nd：YAG固体激光工作物质主要是晶体、透明陶瓷等固体形态的限制，采用电子束蒸发沉积工艺，在硅（100）衬底上制备了Nd：YAG薄膜，并对Nd：YAG薄膜的表面形貌、晶体结构、光学特性进行了测试。X射线和扫描电子显微镜测试结果显示，Nd：YAG薄膜经1100℃真空高温退火处理1h后有效结晶，采用钛蓝宝石激光器输出808nm激光激发，液氮冷却的InGaAs阵列探测器室温下得到Nd：YAG薄膜的1064nm主荧光峰的

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