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论述了三维微细电火花加工系统的发展前景，搭建了一台微细电火花加工系统的原型枰机。在该系统中，使用超声波电机做驱动装置，为微细电火花加工构造了可实现纳米级微量进给的运动平台，并进行了初步的平台定位精度检测。实验结果证明系统运行良好，运动平台能够达到很高的定位精度。课题在设计实用的精密微量进给机构的电机选择上，探索了新的方法。