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针对微纳坐标测量机的高精度性能指标无法精确校准的问题，提出了一种间接校准的方案。使用量块及标准球板校准微纳坐标测量机的尺寸测量示值误差，用标准球校准仪器的探测误差。并对中国计量科学研究院的微纳坐标测量机进行了校准实验，实验结果表明，该仪器的尺寸测量示值误小于0．2μm，探测误差仅为0．125μm，校准结果均优于仪器的最大允许误差，验证了校准方案的合理可行性。