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研制了一种新颖的高速高精度柔性机器人机构。采用高速精密直线电机驱动2-DOF平面并联压电智能杆机构，针对柔性机器人机构的振动问题，以直线伺服电机作为机器人的主驱动源实现高速精密点位控制并采用脉冲整形技术减小末端残余振动，以压电陶瓷作为从驱动源采用闭环反馈控制策略抑制末端残余振动。实验研究和测试结果表明：机器人系统的最大加速度为2g，稳定时间小于150ms，重复定位精度小于±5μm，实现了高速高精度的点位控制。