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本文作者提出了JJF 1100-2003平面等厚干涉仪校准规范中仪器示值误差计算公式存在的问题,并就其结构分类、校准方法和环境条件等作了进一步探讨。
平面等厚干涉仪校准方法探讨
【摘 要】
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本文作者提出了JJF 1100-2003平面等厚干涉仪校准规范中仪器示值误差计算公式存在的问题,并就其结构分类、校准方法和环境条件等作了进一步探讨。
【机 构】
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上海市计量测试技术研究院
【出 处】
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计量技术
【发表日期】
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2008年2期
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