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根据平面无阀压电微流体泵的结构特点，采用厚度平均的浅水模型和有限元法，得到微流体泵液体-振动片耦合方程。耦合方程的模态分析给出硅片一阶模态自然频率和振型，以及硅片振幅一频率关系。在模态分析之后，加入压电力考察振动片响应、微泵流动特征和微泵流量。同时研究微泵结构参数（微泵压电片半径、扩散管长度、最小宽度、扩散张角）对微流体泵液-固耦合系统的自然频率、振动片振幅和微泵流量的影响，得出对微流体泵优化设计有重要意义的结果。