PDMS微小流路微加工技术的研究

来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lxl_0598
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PDMS(Polydimethylsiloxane,聚二甲基硅氧烷)微小流路的微加工技术,由于具有加工周期短,加工成本低,可进行批量生产,易获得高深宽比的微小结构等特点,日益成为微小流路加工技术中一个研究热点.对PDMS微小流路的特性进行了分析,实验结果表明,该方法完全适用于μTAS系统及其他生物化学分析仪器中微小流路的加工.
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