直拉重掺硼硅单晶的研究进展

来源 :稀有金属 | 被引量 : 0次 | 上传用户：sz_yaoli

【摘要】

：

系统介绍了直拉重掺硼(B)硅单晶研究的最新进展.主要内容包括重掺B硅单晶的基本性质,利用重掺B籽晶进行无缩颈硅单晶生长技术,重掺B硅单晶的机械性能,重掺B硅单晶中的氧和氧

【作者】

：

李春龙沈益军杨德仁马向阳余学功阙端麟

【机构】

：

浙江大学硅材料国家重点实验室

【出处】

：

稀有金属

【发表日期】

：

2003年3期

【关键词】

：

直拉硅重掺硼氧缩颈 czochralski silicon heavily B doped oxygen dash necking

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系统介绍了直拉重掺硼(B)硅单晶研究的最新进展.主要内容包括重掺B硅单晶的基本性质,利用重掺B籽晶进行无缩颈硅单晶生长技术,重掺B硅单晶的机械性能,重掺B硅单晶中的氧和氧沉淀,以及B的大量掺杂与大直径直拉硅单晶中空洞型(Void)原生缺陷的控制关系.在此基础上,探讨了当前直拉重掺B硅单晶生产和研究中存在的主要问题.

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