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针对BCl3–SiCl4–H2–Ar制备硅硼陶瓷体系,基于已建立的热力学数据库,根据化学平衡原理,对Si-B体系进行了热力学产物平衡浓度分布研究,计算得到在典型CVD工艺参数下体系中重要产物的平衡浓度分布,以及相关重要固相产物硼（B）以及SiB14的分布规律,以期为实验研究提供可靠的理论参考。
利用量子化学研究制备硅硼陶瓷的CVD反应热力学
【摘 要】
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针对BCl3–SiCl4–H2–Ar制备硅硼陶瓷体系,基于已建立的热力学数据库,根据化学平衡原理,对Si-B体系进行了热力学产物平衡浓度分布研究,计算得到在典型CVD工艺参数下体系中重
【机 构】
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天津大学材料科学与工程学院先进陶瓷加工技术教育部重点实验室
【出 处】
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科技与创新
【发表日期】
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2018年05期
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