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期刊论文
氦质谱正压检漏法
氦质谱正压检漏法
来源 :真空与低温 | 被引量 : 0次 | 上传用户:SOMNUS1
【摘 要】
:
为了直接获得工作状况下的漏率 ,在模拟工况条件下 ,采用氦质谱检漏仪正压检漏法可满足这样的要求。这种方法具有广泛地推广价值。介绍了此方法的意义、检漏过程及计算公式。
【作 者】
:
曹慎诚
刘志东
冯毅明
【机 构】
:
兰州物理研究所!兰州730000,兰州物理研究所!兰州730000,兰州物理研究所!兰州730000
【出 处】
:
真空与低温
【发表日期】
:
2000年01期
【关键词】
:
氦质谱检漏仪
正压检漏法
正压校准漏孔
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为了直接获得工作状况下的漏率 ,在模拟工况条件下 ,采用氦质谱检漏仪正压检漏法可满足这样的要求。这种方法具有广泛地推广价值。介绍了此方法的意义、检漏过程及计算公式。
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