基于压力分布测试的电容式压力传感器

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【摘要】

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【作者】

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何昱蓉贾利成何常德宋军华宋金龙张文栋

【出处】

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微纳电子技术

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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微电子机械系统(MEMS) 压力传感器电感耦合等离子体(ICP)刻蚀阳极键合压力测试

【基金项目】

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国家自然科学基金国家杰出青年科学基金资助项目(61525107);国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2015AA042601)

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