接触与非接触两用表面轮廓综合测量仪

来源 :湖北工业大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：a447047964

【摘要】

：

介绍了一种新型两用表面轮廓综合测量仪的设计原理、仪器结构及测试结果. 该系统可采用接触式与非接触式两种测量方式,与单一测量模式的表面形貌测量仪器相比,它的性能价格比

【作者】

：

汪洁谢铁邦

【机构】

：

华中科技大学机械科学与工程学院

【出处】

：

湖北工业大学学报

【发表日期】

：

2005年5期

【关键词】

：

表面轮廓仪聚焦探测法激光干涉法 profilometer focus measuring method laser interferometry

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

介绍了一种新型两用表面轮廓综合测量仪的设计原理、仪器结构及测试结果. 该系统可采用接触式与非接触式两种测量方式,与单一测量模式的表面形貌测量仪器相比,它的性能价格比更高,应用范围更广. 该测量系统已投入实用,接触法测量范围达± 3mm,最小分辨率为0.005 μm;非接触法测量范围达±500 μm,最小分辨率为0.01 μm.

其他文献

党内民主建设30年的历程及经验

改革开放以来，中国共产党人始终加强党内民主建设，取得了巨大的成绩，并积累了宝贵经验。认真总结党内民主建设的经验，对于继续推进党的建设和社会主义民主政治发展具有重大意义。

期刊

改革开放中国共产党党内民主Reform and opening-upCommunist Party of China Inner-party Demo

校园网交换机监控系统的建立

叙述了利用免费的、且源代码公开的网络流量监控软件MRTG建立校园网交换机监控系统的方法,实现了在校园网中对网络流量、连通率两个重要指标的长期、实时监控.

期刊

简单网络管理协议MRTG监控simple network management protocol multi router traffic graphe

在Mathematica中实现最小偏向角的动态光路图

利用Mathematica的动画功能,实现了等边三棱镜折射实验的动态光路图.所依赖的物理原理就是几何光学中最基本的折射定律.

期刊