【摘 要】
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阐述椭圆体气囊抛光头的运动方式和局限性，分析不同孔径圆孔光学元件的加工范围，设计一种可伸缩式圆孔气囊抛光头的机械结构，通过滑动模块实现抛光头直径大小的调整，以适应不同孔径光学元件的抛光。利用可伸缩式气囊抛光头进行不同孔径圆孔光学元件的工艺试验，探讨抛光中表面粗糙度的变化规律及原因，采用5 kPa、4 kPa和3 kPa等不同气囊压强进行分阶段抛光试验。试验结果表明：该抛光头可满足不同孔径光学元件的
【机 构】
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陕西国防工业职业技术学院智能制造学院
【基金项目】
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陕西国防工业职业技术学院2020年科研重点基金资助项目（Gfy20-05）； 陕西国防工业职业技术学院2022年科研基金资助项目（Gfy22-57）；
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阐述椭圆体气囊抛光头的运动方式和局限性，分析不同孔径圆孔光学元件的加工范围，设计一种可伸缩式圆孔气囊抛光头的机械结构，通过滑动模块实现抛光头直径大小的调整，以适应不同孔径光学元件的抛光。利用可伸缩式气囊抛光头进行不同孔径圆孔光学元件的工艺试验，探讨抛光中表面粗糙度的变化规律及原因，采用5 kPa、4 kPa和3 kPa等不同气囊压强进行分阶段抛光试验。试验结果表明：该抛光头可满足不同孔径光学元件的高精度加工要求。
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