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气体流量是工农业生产及科学研究的重要控制参数,有必要进行实时测量。基于摩擦纳米发电机研制了一种具有自供电功能的气体流量传感器。传感器在气体流经时产生摩擦起电,从而输出与气体流量呈正比的摩擦电信号,实现自供电式传感,即传感器具有传感器和发电机的双重功能。对传感器的理论输出信号进行了推导建模。实验结果表明,传感器的测量范围为20～100 mL/s,测量误差<3%,且最高工作环境温度≤150℃。传感器的发电实验显示其最大输出电压和电流分别为3.2 V和3.2×10~(-6) A,且当外接负载为10~6Ω时